चांगचुन इंस्टीट्यूट ऑफ ऑप्टिक्स, फाइन मैकेनिक्स एंड फिजिक्स (CIOMP), चाइनीज एकेडमी ऑफ साइंसेज में बेनहेशिग और ली वेन्हो के नेतृत्व में एक शोध टीम ने बड़े-अपशम्फ्रहक ग्रैटिंग के विवर्तन वेवफ्रंट को नियंत्रित करने में महत्वपूर्ण प्रगति की है। .
विवर्तन झंझरी, जो कि पॉलीक्रोमैटिक प्रकाश को फैलाने के लिए आवधिक संरचनाओं का उपयोग करते हैं, व्यापक रूप से वर्णक्रमीय विश्लेषण और वेवफ्रंट मॉड्यूलेशन . में उपयोग किए जाते हैं, हालांकि, विवर्तन ग्रैटिंग में वेवफ्रंट त्रुटियों को हाई-एंड ऑप्टिकल इंस्ट्रूमेंट्स . के प्रदर्शन को कम कर सकता है। अल्ट्रा-हाई-इंटेंसिटी पल्स लेजर क्वालिटी . खगोलीय स्पेक्ट्रोमेटर्स में, ऐसी त्रुटियां वर्णक्रमीय संकल्प और पता लगाने की संवेदनशीलता को कम करती हैं . CNC मशीन विस्थापन माप प्रणाली में, वे सीधे सटीकता से सटीकता से जुड़ने की स्थिति में काम करते हैं, इसलिए, उच्च-संक्षेप में। हाई-एंड ऑप्टिकल सिस्टम .
स्कैनिंग हस्तक्षेप फ़ील्ड लिथोग्राफी, हस्तक्षेप फ्रिंज के वास्तविक समय के सक्रिय चरण मॉड्यूलेशन को सक्षम करके एक समाधान प्रदान करता है, न्यूनतम वेवफ्रंट त्रुटियों के साथ झंझरी के निर्माण की अनुमति देता है . इस तकनीक में दो लेजर बीम को शामिल किया गया है, जो कि दो लेजर बीम को कम करने के लिए { नतीजतन, चरण की विस्थापन माप सटीकता सीधे ग्रेटिंग के वेवफ्रंट प्रिसिजन . को निर्धारित करती है, हालांकि, पारंपरिक लेजर इंटरफेरोमेट्री तापमान, आर्द्रता और हवा के दबाव जैसे पर्यावरणीय कारकों के लिए अतिसंवेदनशील है, जो कि अपमानित मंच की स्थिति के लिए अग्रणी है .}
इस मुद्दे को संबोधित करने के लिए, टीम ने एक हाइब्रिड ग्रेटिंग-लेजर इंटरफेरोमेट्रिक विस्थापन माप तकनीक . विकसित की, यह एक लंबी दूरी की ग्रैजिंग इंटरफेरोमीटर (पर्यावरणीय शोर से कम प्रभावित) को जोड़ती है, जो कि एक छोटी-रेंज लेजर इंटरफेरोमीटर के साथ ठीक समायोजन के लिए है, जो कि मापन रेंज और प्रीक्शन के बीच ट्रेड-ऑफ एप्रिसीबिलिटी के लिए है। NM . इसके अलावा, टीम ने दोहरी माप प्रणालियों को एकीकृत करके एक नैनो-सटीकता हस्तक्षेप फ़ील्ड मेट्रोलॉजी सिस्टम . की स्थापना की, वे सटीक रूप से चरण विस्थापन त्रुटियों और एक्सपोज़र बीम चरण वितरण को सटीक रूप से निर्धारित करते हैं। मोशन, बड़े-एपर्चर ग्रैटिंग्स के उच्च-सटीक निर्माण की सुविधा .
यह अध्ययन नैनोमीटर-स्तरीय सटीकता के साथ मीटर-स्केल झंझरी बनाने के लिए एक उपन्यास रणनीति प्रदान करता है, उच्च-ऊर्जा लेजर, अल्ट्रा-सटीक स्पेक्ट्रोमीटर, और नैनोस्केल विस्थापन माप प्रौद्योगिकियों में प्रगति का आशाजनक प्रगति .}
निष्कर्ष, "एक बड़े एपर्चर और उच्च-सटीक होलोग्राफिक विवर्तन ग्रेटिंग के वेवफ्रंट एबर्सेशन को नियंत्रित करना," शीर्षक में प्रकाशित किया गया था, प्रकाश में प्रकाशित किया गया था: विज्ञान और अनुप्रयोग . अनुसंधान को राष्ट्रीय कुंजी आर एंड डी कार्यक्रम, चीन के राष्ट्रीय प्राकृतिक विज्ञान फाउंडेशन, और कैस यूथ इनोवेशन प्रमोशन एसोसिएशन . द्वारा समर्थित किया गया था।